Проведение вакуумных испытаний на герметичность
Проведение вакуумных испытаний на герметичность
Целью данного упражнения является отработка практических навыков поиска негерметичностей в вакуумных и криогенных системах и коммуникациях, порядка обдува испытуемых систем газообразным гелием, оценки величины найденных течей.
Перед выполнением данного упражнения следует ознакомиться с методическими рекомендациями, приведенными в приложении 4.
Вход течеискателя соединен с испытуемым объектом, отсеченным от течеискателя дополнительным вакуумным вентилем; испытуемый объект и все соединительные коммуникации предварительно откачаны;
Запустить течеискатель и привести в рабочее положение, как описано в главе "Запуск течеискателя". Настроить течеискатель на "пик гелия" (см. упражнение 1). Выключить катод.
Плавно открывая входной клапан течеискателя и дополнительный вакуумный вентиль на входе в испытуемый объект, соединить вакуумную систему течеискателя с испытуемым объектом. Убедиться, что вакуум в системе течеискателя достаточен (не более 20 — 30 делений средней шкалы выходного прибора блока измерения давления). Нажать кнопку "ДЕБЛОКИРОВКА".
Включить накал катода ионного источника (проверить, открыт ли клапан "ОТКАЧКА КАМЕРЫ").
Переключатель "ТОК ЭМИССИИ" на панели блока питания камеры установить в положение "0,5 мА". Ток эмиссии устанавливается через 10 — 20 с. после включения накала катода ионного источника.
Следует обратить внимание, что чувствительность испытаний не идентична чувствительности течеискателя, поэтому для оценки величины натекания испытуемых объектов необходимо определить цену деления выходного прибора блока измерения ионного тока в конкретных условиях проведения испытания, т.е. при присоединенном испытуемом объекте в выбранном режиме испытаний и откачки.
Открыть клапан "ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ". Выбрав удобную для отсчета шкалу выходного прибора блока измерения ионного тока, определить установившееся значение величины сигнала от гелиевой течи (ат).
Закрыть клапан "ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ" и определить величину фонового сигнала (аф). Определить минимальный поток гелия Qmhh регистрируемый течеискателем, по формуле (10): где Qt — величина потока гелиевой течи (по маркировке на корпусе течи), мбар*л/с
Цена деления выходного прибора блока измерения ионного тока течеискателя соответствует:
Приступить к поиску течей постепенно обдувая испытуемый объект гелием в направлении "сверху-вниз" и приближаясь от дальней точки испытуемого объекта к течеискателю.
Повторить оценку величины течи не менее трех раз, записать полученные значения величины течи, минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем в режиме измерения и цены деления выходного прибора в режиме измерения. Результаты представить в виде таблицы. Сравнить полученные значения минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем в режиме измерения и цены деления выходного прибора в режиме измерения с параметрами, полученными ранее при выполнении упражнения 2. Зарисовать схему подключения испытуемого объекта и отметить найденные течи на схеме.
Оценить величину натекания (размер течи) сравнивая сигнал от найденной течи в испытуемом объекте с калиброванной гелиевой течью.
Величина натекания оценивается по формуле (12):
Таблица перевода основных единиц измерения давления
|
Па (Н/м2) |
бар |
мбар |
мм рт.ст. (торр) |
атм |
|
|
Па (Н/м2) |
1 |
1«10-5 |
1«10-2 |
7,5«10-3 |
9,87«10-6 |
|
бар |
1«105 |
1 |
1000 |
750 |
0,987 |
|
мбар |
100 |
1«10-3 |
1 |
0,75 |
9,87«10-4 |
|
мм рт.ст. (торр) |
133 |
1,33«10-3 |
1,33 |
1 |
1,32«10-3 |
|
атм |
1,01«105 |
1,013 |
1013 |
760 |
1 |
Таблица перевода основных единиц измерения величины течи
|
мбар-л/е |
мм.рт.ст.-л/е |
Па-м3/е |
см3/с^ |
|
|
мбар-л/е |
1 |
0.75 |
0.1 |
0.99 |
|
мм.рт.ст.-л/е |
1.33 |
1 |
0.133 |
1.32 |
|
Па-м3/е |
10 |
7.5 |
1 |
~10 |
|
см3/с |
1.01 |
0.76 |
0.101 |
1 |