вакуум

Вакуум, как его понимают в технике, — это сильно разреженный газ. Приборы и устройства, в которых тем или иным образом используется вакуум, широко применяются в самых разных областях науки и техники.

Непосредственно измерять парциальные давления описанными выше приборами можно только при общем давлении в системе ниже 10-4 мм рт. ст.

Квадрупольный масс-анализатор, или электрический фильтр масс, представляет собой прибор, в котором разделение ионов по массам осуществляется в поле электрического квадруполя (четырехэлектродного конденсатора).

Времяпролетные масс-анализаторы применяются для анализа состава газов и измерения.парциальных давлений в высоком и сверхвысоком вакууме с регистрацией спектра масс посредством фото- и киносъемки.

В радиочастотном масс-анализаторе разделение ионов по массам происходит при движении последних через систему электродов-сеток, к которым приложено высокочастотное напряжение

Преимуществом масс-анализаторов с циклоидальной фокусировкой по сравнению с другими статическими масс-спектрометрами, используемыми для измерения парциальных давлений, является довольно большая разрешающая способность.

Приборы двух последних групп получили название динамических масс-спектрометров (масс-анализаторов).

С развитием вакуумной техники и проведением работ, направленных на повышение качества и надежности электровакуумных приборов, появилась необходимость анализа остаточных газов в вакуумных системах.

В качестве иллюстрации на рис. показаны градуировочные графики датчика радиоизотопного (альфа-тронного) манометра.

Следовательно, чувствительность ионизационного манометра k можно связать с эффективностью ионизации Sc.