Современные способы получения вакуума

При использовании вакуумной аппаратуры в промышленных условиях приходится иметь дело с очень широким диапазоном давлений (or атмосферного до 10^-7 мм рт ст.) В лабораторной практике подчас бывает необходимо получать еще более низкие давления (вплоть до 10~^1! мм рт. ст ). Вполне понятно, что такой широкий диапазон не позволяет осуществлять получение вакуума с помощью какого-либо одного способа Поэтому для получения вакуума используются различного рода вакуумные насосы и специальные газопоглотители.

Из вакуумных насосов наибольшее распространение имеют вращательные масляные насосы, создающие разрежение около 10~³ мм рт. ст и пароструйные насосы, с помощью которых может быть получено разрежение до 10^-7 мм рт ст Еще более низкие давления (до 10^-8—1СГ⁹ мм рт ст) могут быть получены при использовании ионных и ионно-испарительных насосов.

Самые низкие давления (вплоть до 10^-11 мм рт. ст.) получаются путем использования свойства некоторых манометров (ионизационных с горячим катодом и магнитно-электроразрядных с холодным катодом) поглощать при своей работе остаточные газы Однако, если ограничиться только удалением воздуха из какого-либо прибора, то после его отсоединения от вакуумной системы в приборе будет наблюдаться довольно быстрое повышение давления. Причиной этого является выделение газов сз стенок и из внутренних деталей прибора.

Значительное уменьшение газовыделения из большинства материалов может быть достигнуто благодаря их предварительному обезгаживанию путем прогрева до высоких температур в условиях непрерывной откачки.

Большинство электровакуумных приборов после их предварительного обезгаживания с одновременной откачкой отпаиваются от вакуумной установки и в таком виде поступают в эксплуатацию

Тем не менее, если не принять соответствующих мер, то в процессе работы прибора не исключена возможность повторного газовыделения из тех или иных деталей, в результате чего прибор может выйти из строя. Для того чтобы непрерывно поддерживать высокий вакуум внутри отпаянных приборов, применяют газопоглотители, использующие свойства некоторых твердых тел (бария, магния, фосфора и др.) поглощать и удерживать на своей поверхности газы, выделяющиеся в процессе эксплуатации этих приборов. С помощью газопоглотителей в вакуумной лампе накаливания непрерывно поддерживается давление 10^-4—1СГ⁵ л*лг рт. ст., в электронной лампе 1СГ⁶ — 10^-7 мм рт. ст., а в некоторых специальных типах электровакуумных приборов еще более низкое давление.